研究与中试条件一、工程研发能力
“柔性制造”平台：模块化、知识密集、可变尺度和可快速配置。业内规模化、跨尺度、可快速配置的微纳微加工与制造条件。
1、微纳结构制备（图形化）：幅面42寸、0.25um分辨率、1.5um线宽以上任意图形；幅面42寸、100nm及以上特征结构的纳米结构。
拥有大型紫外微图形无掩模直写系统（iGrapher820）、超大型（65”）激光直写光刻系统（MiScan1500系统）、大型微纳米混合光刻直写系统（HoloScanV）；精密电铸系统，激光刻蚀系统、激光签注系统；紫外纳米光子晶体直写系统（HoloMakerIIIc）、高速紫外图形直写系统，多轴激光并行光刻系统（MicroLab100）；大型紫外接近式曝光系统（EXPOSURE-Scan）。
2、纳米压印工艺
※ 柔性纳米压印模板
※ 200nm点阵以上周期结构，1微米以上结构复制、微流控、生物芯片。
※ PMMA、PC、PET材料：压印器件，微纳结构压印薄膜
※ UV coating 胶
拥有UV卷对卷纳米压印设备7套；热压纳米压印设备套、纳米转移设备，溅射与热蒸发蒸镀设备以及相关其他设备。
3、LIGA工艺、激光刻蚀
※ 深纹精密模具：线宽10um-200um，深度5um-100um
※ 触摸屏、太阳能电池电极等精密印刷Ni网版
※ 图形刻蚀（矩阵、蜂窝、棋盘、圆形、直线等）
※ 位相光栅、衍射元件、全息图、精密图形、MEMS
※ LED导光logo、香蕉视频下载app成像、空间动感成像（悬浮成像）
4、微结构器件
※ Micro-structure patterns
※ 基材：PC，Si，石英等
※ 图形分辨率1um，深宽比可达5:1，尺寸100mmx100mm
※ 用于二元光学位相结构
※ 微流控芯片、生物芯片等。
拥有精密电铸系统、激光直接刻蚀系统、激光签注系统；纳米压印设备、辊筒激光刻蚀设备、大尺寸平板激光刻蚀设备等。
二、工程化设备
具有微纳加工、柔性材料与器件、跨尺度微纳装备的光、机、电、算工艺一体化实验和中试条件，可全方位为客户和合作方提供服务和方案支持。
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宽幅激光全息制版系统（HoloScanVe）
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大型微纳米混合干涉光刻系统（HoloMakerIIIc）
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高速紫外图形化直写系统（iGrapher200-810）
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双头混合紫外激光光刻系统（MiScan）
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精密多轴激光并行光刻系统（MicroLab100）
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超大型紫外激光掩膜直写系统（iGrapher150）
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紫外纳米光子晶体直写系统（6"-12”）（NanoCrystal）
- 精密电铸系统（40"-65”）：21套；
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大型激光刻蚀系统（平板刻蚀、辊筒刻蚀系统）
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激光签注系统
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大型紫外接近式曝光系统（EXPOSURE-Scan）
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UV卷对卷纳米压印设备（14”-65"）
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热压纳米压印设备
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纳米涂布与转移设备
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溅射-热蒸发蒸镀设备以及相关其他设备
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大型光刻胶板涂布设备
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激光全息曝光系统
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光学检测平台
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精密丝印设备
三、核心技术
1、超大尺寸快速图形化光刻技术
●大尺寸紫外激光投影直写光刻系统
●超大尺寸微-纳混合图形化直写系统
● 多轴微纳加工设备（新产品）
● LED光子晶体快速光刻系统
特色：（1）65英寸光掩膜（2um线宽）光刻能力。65英寸300nm周期光子晶体或者纳米陷光结构的光刻能力。（2）25寸精密光掩膜（0.5um微米分辨率，1微米线宽；0.25um分辨率，1um线宽）；支持大尺寸精密导电电路（2um线宽）的快速直写光刻。
2、纳米压印技术与模板制造
● UV纳米压印工艺与装备
● 卷对卷纳米压印系统（新产品）
150纳米线宽、300纳米周期结构的亚波长光学结构、材料与器件的研发条件。1300nm门幅的纳米结构光学薄膜的研发条件。双面UV纳米压印技术是工程研究中心的特色技术。
3、显示材料与器件：微纳光学膜新方法
● 精密激光刻蚀与模具制备系统：支持32寸导光模具制备
● 热压型卷对卷纳米压印系统与关键工艺技术：超薄LED导光板（扩散复合功能）
● 微镜扩散模具制备技术、
● 大尺寸透明导电传感器
4、香蕉视频下载app成像与显示：机理和技术
● 香蕉视频下载app成像与显示材料的设计与制备技术：香蕉视频下载app激光打印系统
● 基于微透镜薄膜的激光空间成像技术
● 真彩色立体图像处理、 三维真彩色显示屏
四、研究条件（场地）
6000平米实验楼，其中，3000平米净化实验室。中试线：4000平米中试基地（净化）：柔性制造中试基地（微纳光学、光电膜）、微纳图形化与器件加工中试基地（纳米图形化、光子晶体、纳米功能器件与材料）。
五、检测仪器
微纳设备与检测仪器：光刻胶涂布、紫外光刻、ICP、IRE、电铸、纳米压印、激光直写、超声清洗；涂布设备、激光蚀刻系统、微纳图形化直写、蒸镀设备、UV纳米压印设备、全息实验系统、薄膜结构转移、直接热压印系统、和大幅面LIGA工艺；台阶仪、金相显微镜、香蕉视频下载app共焦显微镜、原子力显微镜和气相色谱仪等。
